Как сообщили в пресс-службе НГУ, научные сотрудники вуза оптимизировали параметры процесса магнетронного распыления для получения плёнок нитрида алюминия с наилучшими характеристиками.
Они, благодаря своим свойствам, найдут широкое применение в сфере систем передачи информации и мобильной связи в формате 5G, а именно – в резонаторах. Благодаря плёнкам AlN резонаторы работают на более высоких частотах, обеспечивая высокую скорость передачи данных.
Определив набор нужных параметров: температуры подложки, давления и т.д. учёные получили плёнки на специальной установке магнетронного распыления – технологии нанесения тонких плёнок на подложку. Сейчас они работают над созданием прототипов многослойных резонаторов. Кроме этого, научные сотрудники НГУ планируют модифицировать свою установку для получения плёнок, после чего у них появится возможность исследовать сразу несколько вариантов резонаторов с различными металлическими слоями.
Фото: Пресс-служба НГУ